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Aachen: „Einmalige Konfiguration für High-Tech-Produkte”

Aachen : „Einmalige Konfiguration für High-Tech-Produkte”

Technologietransfer made in Aachen: Der niederländische Elektrokonzern Philips hat das EUV-Lithographieverfahren (EUV = Extrem-Ultraviolett) bis zur Prototyp-Reife gebracht.

Entwickelt wurde diese Schlüsseltechnologie für die Halbleiter-Fertigung am Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT), Aachen, produziert wurden die ersten (Labor-) Anlagen von den Maschinenbauern des Philips-Glühlampenwerks Aachen.

Dieses Zusammenspiel von Forschung und Industrie sei „eine einmalige Konfiguration”, sagt Ralf Raue, Stratege des Philips-Forschungslabors Aachen.

Jüngst wurde das Projekt mit dem Wissenschaftspreis des Stifterverbandes ausgezeichnet.

„Philips möchte in diesem Markt eine führende Rolle spielen”, bekräftigt Joseph Pankert, Geschäftsführer der Philips EUV GmbH, Aachen.

Um Transistoren auf einem Chip unterzubringen, projeziert die Halbleitermaschine Licht durch eine Maske auf die Oberfläche der mit Fotolack überzogenen Siliziumscheibe. Da immer mehr Schaltkreise aufgetragen werden, müssen die Lichtquellen mit immer kürzeren Wellenlängen arbeiten.

EUV - bekannt als „Aachener Licht” - bringt dank kurzer energiereicher Laserpulse - eine Wellenlänge von 13,5 Nanometer hervor, damit können Prozessoren produziert werden, die mit zehn Gigahertz getaktet und damit drei Mal schneller sind als heutige Chips.

„Ein außerordentlicher Technologiesprung” heißt es im ILT. Und die Aachener Laboranlage ist „am billigsten, einfachsten und kompaktesten”, fügt Pankert hinzu.

Den Preis einer Chipmaschine neuen Typs beziffert er auf 30 Millionen Euro, davon entfallen etwa drei Millionen Euro auf die EUV-Komponente.

Sollte Philips ab 2009 die Hälfte des Marktes abdecken, könnten pro Jahr etwa 80 Lichtquellen produziert und „einige hundert Arbeitsplätze” geschaffen werden - vielleicht in Aachen-Rothe Erde.